ZDS-X多路質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)

系統(tǒng)應(yīng)用：

ZDS-X多路質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)是實現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)

設(shè)備組成：

多路進氣管路、質(zhì)子流量計、混氣罐、出氣管路組成

產(chǎn)品特點：

幾路進氣客戶自由定制，標(biāo)準(zhǔn)接口，方便連接

液晶觸摸屏控制輸入每路氣體流量，實時查看各路氣體流量曲線

每條氣路均設(shè)置高壓截止閥，方便切斷氣路

技術(shù)參數(shù)：

氣體通路：X條客戶自由定制

氣體類型：客戶自由選擇

流量計量程：5—500SCCM；1—10SLM自由選擇

工作電壓：220v/50Hz

工作壓差：0.1-0.5MPa

最大壓力：3MPa

準(zhǔn)確度：±1.0%F.S

質(zhì)子流量計相應(yīng)時間：＜1S

測量范圍：0.1-0.15MPa

混氣罐：304不銹鋼

進出氣接口：直徑6mm不銹鋼卡套接口

管道：內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管；外部管采用6mm聚四氟管

控制系統(tǒng)：PLC控制系統(tǒng)，液晶觸摸屏輸入，每路氣路獨立控制

FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統(tǒng)

系統(tǒng)應(yīng)用：

FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統(tǒng)是實現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)

設(shè)備組成：

多路進氣管路、浮子流量計、混氣罐、出氣管路組成

產(chǎn)品特點：

幾路進氣客戶自由定制，標(biāo)準(zhǔn)接口，方便連接

手動調(diào)節(jié)浮子流量計，方便快接

每條氣路均設(shè)置高壓截止閥，方便切斷氣路

技術(shù)參數(shù)：

氣體通路：X條客戶自由定制

氣體類型：客戶自由選擇

流量計量程：10-100ml/min；25-250ml/min；50-500ml/min自由選擇

壓力表：-0.1MPa---0.15MPa，0.01MPa/格

混氣罐：304不銹鋼

進出氣接口：直徑6mm

管道：內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管